Plato de vacío de cerámica porosa para la manipulación de obleas deformadas
El soporte cerámico poroso de St.Cera está fabricado con alúmina de alta pureza, con una porosidad abierta uniforme del 30 al 45 % y tamaños de poro que oscilan entre 10 y 100 μm. A diferencia de los soportes ranurados convencionales, la superficie porosa proporciona un vacío distribuido por toda la parte posterior de la oblea, sujetando eficazmente obleas deformadas, delgadas o individuales sin que se desprendan los bordes ni se rompan. El suave vacío (ajustable mediante un limitador) también evita marcas en la parte posterior.
Presupuesto(basado en 99,6% Al₂O₃):
| Propiedad | Valor |
| Porosidad | 30–45% |
| Tamaño medio de los poros | 10–100 μm (seleccionable) |
| Resistencia a la flexión | ≥250 MPa |
| Planitud (superior a 300 mm) | ≤5 μm |
| Acabado superficial | Pulido (Ra 0,8 μm) |
| Nivel máximo de vacío | -80 kPa |
| Temperatura de funcionamiento | 400 °C (aire), 600 °C (inerte) |
| Material | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ o SiC |
Aplicaciones:
Rectificado de la parte posterior de obleas delgadas (≤50 μm)
Montaje de obleas deformadas para corte
Recogida de troqueles individuales de la cinta
Manipulación de paneles de vidrio
Fabricación y calidad:
Polvo cerámico mezclado con agentes formadores de poros orgánicos → prensado → sinterizado → pulido hasta alcanzar el espesor final. Cada soporte se somete a una prueba de flujo para comprobar la uniformidad del vacío (desviación ≤5 %) y se inspecciona para determinar la distribución del tamaño de poro (SEM). La planitud se mide con un interferómetro láser.
Ventajas sobre los mandriles ranurados:
Sin marcas en el borde de la oblea ni desplazamiento del chip.
Sujeta obleas deformadas (con una curvatura de hasta 500 μm).
Elimina la obstrucción de los orificios de vacío.
Soporte autonivelante para sustratos delgados
Personalización:
Formas redondas o rectangulares, con dimensiones de hasta 600 mm. Se pueden aplicar juntas de sellado perimetral o tabiques de vacío. Versiones con refuerzo metálico disponibles para requisitos de alta rigidez.
Solicite una muestra para realizar una prueba de tamaño y deformación de su oblea.
