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Anillo aislante de alúmina PVD para sistemas de deposición física de vapor.
El anillo de aislamiento PVD de St.Cera está fabricado con alúmina (Al₂O₃) de alta pureza (99,8 %) para su uso en sistemas de deposición física de vapor (PVD). El anillo proporciona aislamiento eléctrico entre los componentes de la cámara, evitando la formación de arcos eléctricos y garantizando un funcionamiento estable del plasma. Sus propiedades clave incluyen una alta rigidez dieléctrica (15 × 10⁶ V/m), una resistividad >10¹⁴ Ω·mm²/m y una estabilidad térmica de hasta 1600 °C. Gracias a nuestras capacidades de mecanizado de precisión, podemos obtener diámetros exteriores de hasta 600 mm, diámetros interiores de hasta 0,2 mm, una planitud de 0,003 mm y un acabado superficial Ra0,1. La ausencia de porosidad y la inercia química del anillo garantizan una fiabilidad a largo plazo en entornos de pulverización catódica agresivos.
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Componentes cerámicos de alúmina para sistemas de evaporación E-Gun
St.Cera fabrica componentes cerámicos de alúmina de alta pureza (99,8 %) diseñados específicamente para sistemas de evaporación por haz de electrones (cañón E). Estas piezas incluyen revestimientos para crisoles, pantallas deflectoras de haz, aislantes y soportes de montaje. El material ofrece una alta rigidez dieléctrica (15 × 10⁶ V/m), estabilidad térmica de hasta 1600 °C y excelente resistencia al choque térmico y al ataque químico de los materiales evaporados. Nuestras capacidades de mecanizado de precisión permiten obtener geometrías complejas con un tamaño mínimo de característica de 0,2 mm, una planitud de 0,003 mm y un acabado superficial Ra0,1. Cada pieza se inspecciona al 100 % con una máquina de medición por coordenadas (CMM) para garantizar su precisión dimensional.
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Piezas cerámicas de alúmina al 99,5% personalizadas de ST.CERA
Las piezas estructurales cerámicas son un término general que engloba diversas formas complejas de piezas de cerámica. Fabricadas con polvo cerámico de alta pureza, estas piezas se forman mediante prensado en seco o prensado isostático en frío, se sinterizan a alta temperatura y posteriormente se mecanizan con precisión. Se utilizan ampliamente en equipos de semiconductores, comunicaciones ópticas, láseres, equipos médicos, petróleo, metalurgia e industria electrónica, gracias a sus características como alta resistencia a la temperatura, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y capacidad aislante.
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Brazo de carga de cerámica de alúmina al 99,5% personalizado de ST.CERA
El efector final cerámico/brazo de manipulación se instala en el robot de manipulación de obleas o "efectores finales" y se utiliza para transportar obleas de silicio dentro o fuera de casetes o cámaras de procesamiento.
Las ventajas de utilizar cerámica son la reducción de la deflexión gracias a su alta resistencia a la flexión, la resistencia a altas temperaturas y la eliminación de la contaminación y las partículas metálicas. -
Componentes cerámicos de alúmina al 99,5% personalizados de ST.CERA
Fabricados con polvo cerámico de alta pureza, los componentes cerámicos se forman mediante prensado en seco o prensado isostático en frío, se sinterizan a alta temperatura y posteriormente se mecanizan con precisión. Se utilizan ampliamente en equipos de semiconductores, comunicaciones ópticas, láseres, equipos médicos, petróleo, metalurgia e industria electrónica gracias a sus características como alta resistencia a la temperatura, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y capacidad aislante.
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Brazo de manipulación de obleas de cerámica de alúmina de precisión para semiconductores.
Gracias a sus características de resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y aislamiento, la cerámica puede funcionar durante mucho tiempo en muchos tipos de equipos de producción de semiconductores en condiciones de alta temperatura, vacío o gases corrosivos.
Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃.
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Componentes de equipos semiconductores con brazo cerámico de alúmina aislada
Evitar la formación de partículas que puedan generarse en los bordes biselados o angulados y en la superficie posterior durante el transporte de las obleas o al entrar en contacto con el efector final o el brazo manipulador.
Para las guías, se adoptó un material blando que no daña la oblea.
Es posible reducir el grosor del material gracias a la tecnología de canales de vacío integrada de ST.CERA, que no utiliza adhesivos.
Es posible realizar orificios de montaje y modificar la longitud y el ancho de la base donde se monta el efector final/brazo de manipulación en el robot.
Los sensores de montaje, los tornillos y los soportes están disponibles como opción.
Diseñado para ser utilizado en atmósfera
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Alta resistencia a la temperatura de la cerámica de alúmina de precisión.
Fabricado con polvo cerámico de alta pureza, el tubo cerámico se forma mediante prensado en seco o prensado isostático en frío, se sinteriza a alta temperatura y posteriormente se mecaniza con precisión. Gracias a sus numerosas ventajas, como resistencia a la abrasión y a la corrosión, alta dureza, gran tenacidad y bajo coeficiente de fricción, se utiliza ampliamente en equipos médicos, maquinaria de precisión, láser, metrología y equipos de inspección. Puede funcionar durante largos periodos en ambientes ácidos y alcalinos, y su temperatura máxima alcanza los 1600 °C.
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Varilla de cerámica de alúmina de alta presión y resistente al desgaste. Émbolo de cerámica.
Fabricada con polvo cerámico de alta pureza, la varilla cerámica se forma mediante prensado en seco o prensado isostático en frío, se sinteriza a alta temperatura y posteriormente se mecaniza con precisión. Gracias a sus numerosas ventajas, como resistencia a la abrasión y a la corrosión, alta dureza, gran tenacidad y bajo coeficiente de fricción, se utiliza ampliamente en equipos médicos, maquinaria de precisión, láser, metrología y equipos de inspección. Puede funcionar durante largos periodos en ambientes ácidos y alcalinos, y su temperatura máxima alcanza los 1600 °C.
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Manguito de eje de cerámica de alúmina Émbolo de cerámica
Fabricada con polvo cerámico de alta pureza, la varilla cerámica se forma mediante prensado en seco o prensado isostático en frío, se sinteriza a alta temperatura y luego se mecaniza con precisión. Con numerosas ventajas como resistencia a la abrasión, resistencia a la corrosión, alta dureza, alta tenacidad y bajo coeficiente de fricción, se utiliza ampliamente en equipos médicos, maquinaria de precisión, láser, metrología y equipos de inspección. Puede funcionar en condiciones ácidas y alcalinas durante largos períodos, y la temperatura máxima puede alcanzar los 1600 ℃. Los materiales cerámicos que solemos utilizar son zirconia, alúmina (Al₂O₃) con una pureza del 95 % al 99,9 %, nitruro de silicio (Si₃N₄), nitruro de aluminio (AlN), entre otros.
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Excelente rendimiento de las piezas estructurales mecánicas de cerámica de alúmina.
Las piezas estructurales cerámicas son un término general que engloba diversas formas complejas de piezas de cerámica. Fabricadas con polvo cerámico de alta pureza, estas piezas se forman mediante prensado en seco o prensado isostático en frío, se sinterizan a alta temperatura y, posteriormente, se mecanizan con precisión. Se utilizan ampliamente en equipos de semiconductores, comunicaciones ópticas, láseres, equipos médicos, petróleo, metalurgia e industria electrónica.
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Componentes estructurales de cerámica de alúmina. Piezas estructurales.
Las piezas estructurales de cerámica son un término general que engloba diversas formas complejas de piezas cerámicas. Se forman mediante prensado en seco o prensado isostático en frío, se sinterizan a alta temperatura y, posteriormente, se mecanizan con precisión.
Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 400 ℃ a 800 ℃.
