Pasador de soporte cerámico para dispositivos de fijación en procesos de semiconductores.
Los pasadores de soporte cerámicos de St.Cera (también conocidos como pasadores de elevación o de soporte) se utilizan en las cámaras de procesamiento de semiconductores para elevar las obleas o sustratos durante su manipulación, calentamiento o enfriamiento. Fabricados con alúmina o nitruro de silicio al 99,8%, estos pasadores ofrecen alta resistencia a la compresión, estabilidad térmica y resistencia química. Su diseño de punta hemisférica o plana evita que la oblea se raye.
Presupuesto(Alúmina 99,8%):
| Propiedad | Valor |
| Material | 99,8% Al₂O₃ o Si₃N₄ |
| Longitud | 10 – 100 mm |
| Diámetro | 1 – 10 mm |
| Forma de la punta | Plano, hemisférico, puntiagudo |
| Resistencia a la compresión (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Temperatura máxima de funcionamiento (Al₂O₃) | 1600°C |
| Acabado superficial | Pulido (Ra ≤0,4 μm) |
| Tolerancia en el diámetro | ±0,01 mm |
Aplicaciones:
Pasadores de elevación en cámaras CVD/PVD
Pasadores de soporte para hornear en placa calefactora
Estructuras de soporte para tarjetas de sonda
Soportes para barcos de hornos de cuarzo
Fabricación:
Rectificado sin centros de precisión del diámetro exterior → rectificado con diamante del perfil de la punta → limpieza ultrasónica → inspección dimensional al 100 %.
Control de calidad:
Máquina de medición por coordenadas (CMM) para longitud/diámetro, comparador óptico para radio de punta, prueba de carga para verificar la resistencia a la compresión (muestra aleatoria por lote). Sin contaminación ferromagnética (verificado con imán).
Ventajas sobre los pines de metal o cuarzo:
5 veces más duradera que el acero inoxidable.
No hay contaminación metálica en la cámara de proceso.
Mayor capacidad de soportar temperaturas que el cuarzo (1600 °C frente a 1100 °C).
Superficie antiadherente (reduce la adhesión de partículas)
Personalización:
Múltiples perfiles de punta, base roscada o eje cónico.
También suministramos pines de SiC para entornos de plasma extremos.
