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Efector final de cerámica de alúmina de alta pureza para robots de manipulación de obleas.
El efector final de cerámica de alúmina de St.Cera se mecaniza con precisión a partir de Al₂O₃ de alta pureza (99,8 %) utilizando equipos avanzados de rectificado CNC de 5 ejes. Nuestras capacidades de fabricación incluyen rectificadoras de precisión y centros de mecanizado CNC, lo que permite geometrías complejas con alta precisión. El efector final presenta un perfil delgado (tan delgado como 1,5 mm) con un borde delantero cónico para una inserción suave de la oblea. El material proporciona alta rigidez (módulo de Young de 380 GPa), excelente resistencia al desgaste y estabilidad térmica de hasta 800 °C. Cada unidad se rectifica con precisión para lograr una planitud de 0,003 mm, un paralelismo de 0,002 mm y un acabado superficial de Ra0,1, lo que garantiza un contacto consistente con la oblea y un funcionamiento sin partículas en entornos FAB de semiconductores. Disponible en longitudes de 150 mm a 450 mm, con geometrías de punta personalizadas (agarre de borde, Bernoulli, plano) y bridas de montaje para adaptarse a robots OEM. Las opciones de acabado superficial incluyen pulido, lapeado o recubrimiento disipador ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
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Efector final Bernoulli de cerámica de alúmina personalizado ST.CERA
Como fabricante líder de brazo robótico cerámico, hemos desarrollado un brazo robótico innovador que responde a las necesidades del mercado. Este brazo robótico cerámico, basado en el principio de Bernoulli, permite levitar y transportar la oblea mediante flujo de aire con un contacto periférico mínimo.
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Efector final cerámico ESD personalizado de ST.CERA
Gracias a sus características de resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y aislamiento, la cerámica puede funcionar en muchos tipos de equipos de producción de semiconductores en condiciones de alta temperatura, vacío o gas corrosivo durante mucho tiempo.
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Efector final de agarre de cerámica de alúmina personalizado ST.CERA
Gracias a sus características de resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y aislamiento, la cerámica puede funcionar durante mucho tiempo en muchos tipos de equipos de producción de semiconductores en condiciones de alta temperatura, vacío o gases corrosivos.
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ST.CERA Efector final de bandeja de cerámica de alúmina personalizado
Se trata de un efector final/brazo manipulador de cerámica tipo bandeja que se utiliza en condiciones de vacío.
El efector final/brazo de manipulación de cerámica es "más resistente al calor", "menos deformable" y "más ligero" en comparación con los de metal.
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Efector final de vacío de cerámica de alúmina personalizado ST.CERA
Gracias a sus características de resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y aislamiento, la cerámica puede funcionar durante mucho tiempo en muchos tipos de equipos de producción de semiconductores en condiciones de alta temperatura, vacío o gases corrosivos.
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Efector final de cerámica de alúmina personalizado ST.CERA
ST.CERA ofrece recubrimiento ESD y material cerámico ESD para efectores finales. Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃.
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Efector final de vacío de cerámica de alúmina personalizado ST.CERA
Se trata de un efector final/brazo manipulador de cerámica tipo bandeja que se utiliza en condiciones de vacío.
El efector final/brazo de manipulación de cerámica es "más resistente al calor", "menos deformable" y "más ligero" en comparación con los de metal.
Gracias a sus características de resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y aislamiento, la cerámica puede funcionar durante mucho tiempo en muchos tipos de equipos de producción de semiconductores en condiciones de alta temperatura, vacío o gases corrosivos.
Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃.
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ST.CERA Manipulación de obleas con efector final de cerámica de alúmina personalizado
ST.CERA ofrece un brazo robótico/de manipulación con recubrimiento ESD y material cerámico ESD, que incorpora un canal hueco. Nos especializamos en una técnica que crea un canal de aire al vacío dentro de una sola pieza de material sin utilizar adhesivos.
No existe riesgo de contaminación, desgasificación ni partículas. El efector final/brazo manipulador de vacío de ST.CERA, con su tecnología de recubrimiento especial, cuenta con aislamiento eléctrico. También podemos suministrar material cerámico ESD con aislamiento eléctrico sin recubrimiento.
Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃. -
Componentes de equipos semiconductores con efector final de cerámica de alúmina
Evitar la formación de partículas que puedan generarse en los bordes biselados o angulados y en la superficie posterior durante el transporte de las obleas o al entrar en contacto con el efector final o el brazo manipulador.
Para las guías, se adoptó un material blando que no daña la oblea.
Es posible reducir el grosor del material gracias a la tecnología de canales de vacío integrada de ST.CERA, que no utiliza adhesivos.
Es posible realizar orificios de montaje y modificar la longitud y el ancho de la base donde se monta el efector final/brazo de manipulación en el robot.
Los sensores de montaje, los tornillos y los soportes están disponibles como opción.
Diseñado para ser utilizado en atmósfera.
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Mecanizado CNC personalizado del efector final de cerámica St.Cera
ST.CERA ofrece un brazo robótico/efector final de cerámica al vacío con un canal hueco integrado. Nos especializamos en una técnica que crea un canal de aire al vacío dentro de una sola pieza de material sin utilizar adhesivos.
No existe riesgo de contaminación, desgasificación ni partículas. El efector final/brazo manipulador de vacío de ST.CERA, con canal integrado, es duradero y puede utilizarse a altas temperaturas. Además, podemos reducir nuestros costos de fabricación eliminando el ensamblaje innecesario.
Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃.
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Efector final cerámico antiestático de alúmina
Gracias a sus características de resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y aislamiento, la cerámica puede funcionar durante mucho tiempo en muchos tipos de equipos de producción de semiconductores en condiciones de alta temperatura, vacío o gases corrosivos.
Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃.
