Placa de distribución de gas de alúmina para cabezal de ducha CVD/PVD
La placa de distribución de gas (tipo ducha) de St.Cera está mecanizada con precisión a partir de cerámica de alúmina de alta pureza (99,8 %). Presenta una matriz de microorificios (de 0,3 a 1,5 mm de diámetro) que garantizan un flujo de gas uniforme sobre la superficie de la oblea durante los procesos CVD, PVD o ALD. Su alta rigidez dieléctrica (>15 × 10⁶ V/m) y su resistencia al plasma la hacen esencial para la deposición de películas delgadas de semiconductores.
Presupuesto:
| Propiedad | Valor |
| Material | 99,8% Al₂O₃ o SiC |
| Diámetro | 100 – 1500 mm (redonda) o rectangular |
| Espesor | 5 – 20 mm |
| Diámetro del orificio | 0,3 – 1,5 mm |
| Patrón de agujeros | Personalizado (triangular, cuadrado, radial) |
| Llanura | ≤10 μm en toda el área |
| Rugosidad superficial | Ra ≤0,6 μm (lado del gas) |
| Relación de área abierta | 5–15% |
Aplicaciones:
Placas para cabezales de ducha PECVD
inyectores de gas ALD
Placas de distribución de gas de la cámara de grabado
Componentes del reactor MOCVD
Fabricación:
Sustrato de alúmina lapeado plano → Perforación CNC con herramientas recubiertas de diamante (tolerancia de posición del orificio ±0,02 mm) → Desbarbado → Limpieza ultrasónica → Embalaje Clase 100.
Control de calidad:
Cada placa se inspecciona al 100% para comprobar el tamaño de los orificios (sistema de visión), la planitud (interferómetro láser) y la uniformidad del flujo de gas (mapeo de presión). No se observan microfisuras bajo el microscopio de 20 aumentos.
Ventajas sobre las placas metálicas:
No hay contaminación metálica en las películas delgadas.
Menor generación de partículas (sin escamas de corrosión)
Resiste plasmas de limpieza agresivos (CF₄, NF₃).
Funcionalidades personalizadas:
Canales de gas en la parte posterior, orificios avellanados, sellos de borde y diferentes grados de materiales (SiC para una mayor conductividad térmica, recubrimiento de Y₂O₃ para resistencia al plasma).
Proporcionamos verificación CAD y simulación de flujo antes de la fabricación.
