Plato de vacío de cerámica porosa a base de alúmina para la manipulación de obleas delgadas

El soporte poroso de alúmina de St.Cera está fabricado con Al₂O₃ de alta pureza (99,6 %) con una porosidad abierta controlada del 30 al 45 % y un tamaño de poro uniforme de entre 10 y 50 μm. A diferencia de los soportes ranurados, la superficie porosa proporciona un vacío distribuido en toda la parte posterior de la oblea, eliminando las marcas en los bordes y permitiendo una sujeción suave de obleas ultrafinas (≤100 μm) o deformadas. El material ofrece una resistencia a la flexión de ≥250 MPa y una estabilidad térmica de hasta 400 °C en aire.

Presupuesto(basado en 99,6% Al₂O₃):

Aplicaciones:

• • Rectificado de la parte posterior de obleas delgadas (≤50 μm)
• · Montaje de obleas deformadas para corte
• · Recogida de troqueles individualizada
• Manipulación de sustratos de vidrio

Fabricación:

Polvo mezclado con agentes formadores de poros → prensado isostático → sinterización a 1600 °C → lapeado hasta alcanzar el espesor final. Cada soporte se somete a una prueba de flujo para comprobar la uniformidad del vacío (desviación de presión <5 %) y se inspecciona para determinar la distribución del tamaño de poro (SEM).

Ventajas sobre los mandriles convencionales:

• · Sin marcas en la parte posterior de la oblea ni desplazamiento del chip.
• · Sostiene obleas con curvatura de hasta 500 μm.
• • Superficie autolimpiante (los poros resisten la obstrucción)
• · El soporte uniforme elimina la tensión local.

Cpersonalización:

Formas redondas o cuadradas, diámetro de 100 a 450 mm. Anillo de sellado perimetral disponible para control de vacío por zonas.

Solicite una muestra del tamaño de oblea que necesita.