Plato de vacío de alúmina de 12 pulgadas para el procesamiento de obleas de 300 mm.
El plato de vacío de 12 pulgadas de St.Cera está diseñado con precisión a partir de alúmina (Al₂O₃) de alta pureza (99,8 %) para la manipulación de obleas de 300 mm. El plato presenta una superficie con ranuras finas (ancho de ranura de 0,5 a 1,0 mm, paso de 2 a 3 mm) para garantizar una distribución uniforme del vacío en todo el diámetro de 300 mm. La planitud se mantiene dentro de 5 μm, lo que permite una fijación sin deformaciones de la oblea durante el corte, el rectificado de la cara posterior y la inspección. La alta resistencia a la flexión (361 MPa) y la dureza (16 GPa) del material garantizan una estabilidad dimensional a largo plazo incluso bajo ciclos de vacío repetidos.
Presupuesto (basado en 99,8% de Al₂O₃):
| Propiedad | Valor |
| Diámetro | 300 mm (12 pulgadas) |
| Material | Alúmina al 99,8% (Marfil) |
| Densidad | 3,93 g/cm³ |
| Resistencia a la flexión | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Planitud (superior a 300 mm) | ≤5 μm |
| Ancho de la ranura | 0,5–1,0 mm |
| Temperatura máxima de funcionamiento | 800°C |
| Fuerza dieléctrica | 15×10⁶ V/m |
Aplicaciones:
• Corte y rayado de obleas de 300 mm
• Rectificado de la parte posterior de la oblea (soporte de oblea delgada)
• Inspección y sondeo óptico
Mandriles de unión/desunión temporales
Fabricación:
Mecanizado CNC, rectificado y pulido para lograr una planitud óptima, ranurado con discos de diamante, limpieza ultrasónica y empaquetado en una sala limpia de clase 100. Cada mandril se inspecciona al 100% para comprobar su planitud (interferómetro láser) y la profundidad de la ranura (perfilómetro).
Ventajas:
Baja generación de partículas (≤0,05 partículas/cm²)
Químicamente inerte a disolventes y ácidos
• Superficie segura contra descargas electrostáticas (resistividad >10¹³ Ω·cm)
Disponemos de diseños personalizados de orificios de vacío y puertos traseros.
