Plato de vacío estándar a base de alúmina: alta rigidez para mecanizado de precisión.
Este plato de vacío a base de alúmina está fabricado con un 99,8 % de Al₂O₃, lo que le confiere una superficie lisa y no porosa con patrones de ranuras de vacío personalizados. Ofrece una rigidez excepcional (módulo de Young de 380 GPa) y una planitud ≤3 μm, lo que lo hace ideal para el rectificado, el lapeado y el corte de precisión de obleas semiconductoras y componentes ópticos. La alta conductividad térmica del material (32 W/m·k) garantiza la uniformidad de la temperatura durante el procesamiento.
Presupuesto(basado en 99,8% Al₂O₃):
| Propiedad | Valor |
| Material | Alúmina al 99,8% (Marfil) |
| Densidad | 3,93 g/cm³ |
| Resistencia a la flexión | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Módulo de Young | 380 GPa |
| Conductividad térmica | 32 W/m·k |
| Llanura | ≤3 μm (más de 200 mm) |
| Rugosidad superficial (lado del mandril) | Ra ≤0,4 μm |
| Temperatura máxima de funcionamiento | 800°C |
Aplicaciones:
- • Rectificado de la parte posterior de la oblea (grueso y fino)
- • Corte de precisión de materiales frágiles
- • Pulido de sustratos cerámicos
- • Pulido de lentes ópticas
Fabricación:
Pulido de precisión de ambas caras → ranurado con diamante (opcional) → redondeo de bordes → limpieza ultrasónica → inspección de planitud al 100% con interferómetro láser.
Aventajas:
- • El soporte rígido minimiza la deflexión bajo carga.
- • No se generan partículas a partir de la estructura porosa.
- • Fácil de limpiar (compatible con paños con disolvente)
- • Ranuras de vacío personalizables (concéntricas, radiales, patrones personalizados)
Tallas disponibles:
Redondos: 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm; cuadrados/rectangulares bajo pedido.
También ofrecemos versiones con base metálica para una mayor resistencia mecánica.
