Mandril de vacío de alúmina para troquelado y rectificado de precisión
El plato de vacío de alúmina de St.Cera está fabricado con Al₂O₃ de alta pureza (99,8 %) y ranuras de vacío mecanizadas con precisión. Nuestra capacidad de rectificado de precisión logra una planitud de 0,003 mm y un paralelismo de 0,002 mm, lo que garantiza una fijación de la oblea sin deformaciones durante el corte, el rectificado de la cara posterior y la inspección. El material ofrece una alta resistencia a la flexión (361 MPa), dureza (16 GPa) y estabilidad térmica de hasta 800 °C. Disponible en formatos redondos de hasta 600 mm de diámetro exterior (DE) y rectangulares de hasta 1500 mm de longitud. Las ranuras de vacío se diseñan a medida (patrones concéntricos, radiales o de cuadrícula) para adaptarse a los requisitos específicos del proceso. Cada plato se inspecciona con un interferómetro láser y se suministra con un informe de verificación de planitud.
Especificaciones (basadas en 99,8% Al₂O₃y capacidades de fabricación de St.Cera):
| Propiedad | Valor |
| Material | Alúmina al 99,8% (Marfil) |
| Densidad | 3,93 g/cm³ |
| Resistencia a la flexión | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Diámetro exterior (máx.) | 600 mm |
| Espesor (máx.) | 100 mm |
| Longitud (máx.) | 1500 mm |
| Llanura | 0,003 mm |
| Paralelismo | 0,002 mm |
| Acabado superficial | Ra0.1 |
| Temperatura máxima de funcionamiento | 800°C |
Aplicaciones:
- • Corte y marcado de obleas (200 mm/300 mm y mayores)
- • Rectificado por la parte posterior de obleas delgadas
- • Inspección y sondeo óptico
- • Manipulación de sustratos de gran tamaño
Precisión en la fabricación:
- · Rectitud: 0,005 mm
- · Perpendicularidad: 0,005 mm
- · Redondez: 0,002 mm
- · Concentricidad: 0,01 mm
