Manipulación de obleas con efector final de cerámica de alúmina
Breve descripción:
Gracias a sus características de resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y aislamiento, la cerámica puede funcionar durante mucho tiempo en muchos tipos de equipos de producción de semiconductores en condiciones de alta temperatura, vacío o gases corrosivos.
Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃.