Efector final cerámico de carburo de silicio (SiC): alta rigidez para la manipulación de obleas a altas temperaturas.
El efector final de cerámica SiC de St.Cera se fabrica con carburo de silicio de alta pureza (99,72 % de SiC, 0,05 % de Si libre) utilizando el lote de material S1111. Ofrece propiedades mecánicas excepcionales: resistencia a la flexión de 449 MPa (medida), módulo elástico de 457 GPa (medido) y dureza Vickers de 25–28 GPa (típica). Su baja densidad (3,10–3,15 g/cm³, típica) proporciona una alta rigidez específica, ideal para robots de transferencia de obleas de alta velocidad. Con una conductividad térmica de 120–150 W/m·K (típica) y un coeficiente de expansión térmica de 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (típico), este efector final disipa eficazmente el calor y mantiene la estabilidad dimensional durante la manipulación a altas temperaturas (hasta 1600–1700 °C, sin carga). Su color negro/gris y su nula absorción de agua garantizan la compatibilidad con salas blancas.
Presupuesto(basado en el informe de prueba SiC S1111 suministrado y valores típicos)):
| Propiedad | Valor |
| Material | SiC (99,72% SiC, 0,05% Si libre) |
| Color | Negro/Gris |
| Densidad | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Absorción de agua | 0% |
| Resistencia a la flexión | 449 MPa (promedio) |
| Tenacidad a la fractura | 3,12 MPa·m¹/² (promedio) |
| Módulo de elasticidad | 457 GPa |
| Dureza Vickers | 25–28 GPa |
| Conductividad térmica (25 °C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura máxima de uso (sin carga) | 1600–1700 °C |
Aplicaciones:
● Manipulación de obleas a alta temperatura (post-recocido, RTP, epitaxia)
● Cámaras de grabado por plasma que requieren alta resistencia a la erosión
● Robots de transferencia de alta velocidad (ligeros, de alta rigidez)
Fabricación:
Sinterización de polvo de SiC → rectificado CNC de precisión del perfil del brazo y elementos de montaje → lapeado de superficie → limpieza ultrasónica. Inspección dimensional al 100 % y prueba de fugas de helio para aplicaciones de vacío.
Control de calidad:
● Inspección con CMM de longitud, anchura y planitud
● Ensayo de resistencia a la flexión por lote (según el estándar del informe de ensayo)
● Inspección visual bajo microscopio para detectar defectos superficiales
Ventajas sobre la alúmina o el metal:
● Módulo elástico 2 veces mayor (457 frente a ~380 GPa para la alúmina): menor deflexión.
● Conductividad térmica 3 veces mayor: disipación de calor más rápida.
● Resiste temperaturas superiores a 1600 °C, frente a los 800 °C de la alúmina en aire.
● Menor densidad que el acero: reducción de peso del 40 %.
Personalización:
Longitudes de 150 a 450 mm, formas de punta (agarre de borde, Bernoulli, plana), patrones de brida de montaje según plano del fabricante original.
*Todos los datos mecánicos anteriores provienen del informe de prueba suministrado (lote S1111). Los valores térmicos y de dureza son típicos para este grado de SiC; póngase en contacto con nosotros para obtener la certificación específica del lote.*
