Plato de vacío a base de carburo de silicio (SiC) para entornos de alta temperatura y plasma.
El soporte cerámico de St.Cera, basado en SiC, está fabricado con carburo de silicio de alta pureza (lote S1111, 99,72 % de SiC, 0,05 % de Si libre). Ofrece una resistencia a la flexión medida de 449 MPa, una tenacidad a la fractura de 3,12 MPa·m¹/² y un módulo elástico de 457 GPa. La conductividad térmica típica del material (120–150 W/m·K) y su baja dilatación térmica (4,0–4,5 × 10⁻⁶/°C) permiten un rápido aumento de temperatura y una mínima deformación de la oblea durante el ciclo térmico. El soporte puede configurarse como un soporte de vacío poroso (flujo de gas uniforme) o como un soporte estándar ranurado. Con una temperatura máxima de uso de 1600–1700 °C (sin carga) y una excepcional resistencia a la erosión por plasma, este soporte es ideal para el procesamiento de obleas a alta temperatura (recocido, RTP) y cámaras de grabado agresivas donde los soportes de alúmina se degradan.
Presupuesto(basado en el informe de prueba SiC S1111 suministrado y valores típicos)):
| Propiedad | Valor |
| Material | SiC (99,72% SiC, 0,05% Si libre) |
| Densidad | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Absorción de agua | 0% |
| Resistencia a la flexión | 449 MPa |
| Tenacidad a la fractura | 3,12 MPa·m¹/² |
| Módulo de elasticidad | 457 GPa |
| Dureza Vickers | 25–28 GPa |
| Conductividad térmica | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura máxima de uso (sin carga) | 1600–1700 °C |
| Planitud (superior a 300 mm) | ≤5 μm |
| Acabado superficial | Ra ≤0,4 μm (superpuesto) |
Aplicaciones:
● Sujeción a alta temperatura (recocido, RTP, crecimiento epitaxial)
● Plato de grabado por plasma con alta resistencia al flúor
● Manipulación de obleas delgadas con calentamiento/enfriamiento uniforme
● Soporte poroso para obleas sin contacto
Fabricación:
Sinterización de SiC → rectificado de precisión para garantizar la planitud y el perfil de la superficie → formación opcional de estructura porosa (para mandril de vacío) → lapeado → limpieza ultrasónica. Cada mandril se inspecciona al 100% para comprobar su planitud (interferómetro láser) y la uniformidad del vacío (prueba de flujo).
Control de calidad:
● Verificación dimensional con CMM (diámetro, espesor, posiciones de los orificios)
● Medición de planitud según ASTM
● Prueba de fugas de helio (para mandriles de vacío)
● Verificación de la resistencia a la flexión por lote (ver informe de ensayo)
Ventajas sobre los platos de alúmina:
● Mayor conductividad térmica (120–150 frente a 32 W/m·K para la alúmina): transferencia de calor 4 veces más rápida.
● Menor CTE (4,0 frente a 7,2 × 10⁻⁶/℃): reduce la tensión térmica de la oblea.
● Resistencia superior al plasma: vida útil 10 veces mayor en el grabado con flúor.
● Mayor temperatura máxima de uso (1600 °C frente a 800 °C para la alúmina)
Personalización:
● Superficie porosa o ranurada
● Diámetro de 100 a 450 mm, redondo o cuadrado
● Anillo de sellado de borde o tabiques de vacío por zonas
● Opción de soporte metálico para un montaje de alta rigidez
Todos los datos mecánicos anteriores provienen del informe de prueba suministrado (lote S1111). Los valores térmicos y de dureza son típicos para este grado de SiC. Los soportes de SiC poroso requieren un procesamiento adicional; consulte la disponibilidad de porosidad y tamaño de poro específicos.
