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ST.CERA Equipos semiconductores personalizados Platos cerámicos
Los procesos críticos en el campo de los semiconductores deben realizarse en salas limpias, especialmente para aquellos dispositivos que se utilizarán en condiciones de alta temperatura, vacío y gases corrosivos. La cerámica puede mantener una alta estabilidad en entornos físicos y químicos complejos.
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ST.CERA Equipos semiconductores personalizados Placa cerámica
Los procesos críticos en el campo de los semiconductores deben realizarse en salas limpias, especialmente para aquellos dispositivos que se utilizarán en condiciones de alta temperatura, vacío y gases corrosivos. La cerámica puede mantener una alta estabilidad en entornos físicos y químicos complejos.
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Anillo de enfoque cerámico semiconductor personalizado ST.CERA
Los procesos críticos en el campo de los semiconductores deben realizarse en salas limpias, especialmente para aquellos dispositivos que se utilizarán en condiciones de alta temperatura, vacío y gases corrosivos. La cerámica puede mantener una alta estabilidad en entornos físicos y químicos complejos.
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Brazo de carga de cerámica de alúmina al 99,5% personalizado de ST.CERA
El efector final cerámico/brazo de manipulación se instala en el robot de manipulación de obleas o "efectores finales" y se utiliza para transportar obleas de silicio dentro o fuera de casetes o cámaras de procesamiento.
Las ventajas de utilizar cerámica son la reducción de la deflexión gracias a su alta resistencia a la flexión, la resistencia a altas temperaturas y la eliminación de la contaminación y las partículas metálicas. -
Efector final de cerámica de alúmina personalizado ST.CERA
ST.CERA ofrece recubrimiento ESD y material cerámico ESD para efectores finales. Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃.
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Anillo de enfoque cerámico semiconductor personalizado ST.CERA
Fabricadas con cerámica de alúmina de alta pureza (superior al 99,5%), formadas mediante prensado isostático en frío y sinterizadas a alta temperatura, para luego ser mecanizadas y pulidas con precisión, las piezas de repuesto cerámicas pueden cumplir con cualquier requisito estricto de los equipos semiconductores gracias a sus características de resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión, baja expansión térmica y aislamiento.
Gracias a sus características de resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y aislamiento, la cerámica puede funcionar durante mucho tiempo en muchos tipos de equipos de producción de semiconductores en condiciones de alta temperatura, vacío o gases corrosivos.
Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃.
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Casquillo cerámico de alúmina de precisión para semiconductores ST.CERA personalizado
Fabricadas con cerámica de alúmina de alta pureza (superior al 99,5%), formadas mediante prensado isostático en frío y sinterizadas a alta temperatura, para luego ser mecanizadas y pulidas con precisión, las piezas de repuesto cerámicas pueden cumplir con cualquier requisito estricto de los equipos semiconductores gracias a sus características de resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión, baja expansión térmica y aislamiento.
Gracias a sus características de resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y aislamiento, la cerámica puede funcionar durante mucho tiempo en muchos tipos de equipos de producción de semiconductores en condiciones de alta temperatura, vacío o gases corrosivos.
Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃.
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Efector final de vacío de cerámica de alúmina personalizado ST.CERA
Se trata de un efector final/brazo manipulador de cerámica tipo bandeja que se utiliza en condiciones de vacío.
El efector final/brazo de manipulación de cerámica es "más resistente al calor", "menos deformable" y "más ligero" en comparación con los de metal.
Gracias a sus características de resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y aislamiento, la cerámica puede funcionar durante mucho tiempo en muchos tipos de equipos de producción de semiconductores en condiciones de alta temperatura, vacío o gases corrosivos.
Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃.
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Tubos y varillas cerámicas de alúmina al 99,5% personalizados de ST.CERA
Gracias a sus características de resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y aislamiento, la cerámica puede funcionar durante mucho tiempo en muchos tipos de equipos de producción de semiconductores en condiciones de alta temperatura, vacío o gases corrosivos.
Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃.
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ST.CERA Manipulación de obleas con efector final de cerámica de alúmina personalizado
ST.CERA ofrece un brazo robótico/de manipulación con recubrimiento ESD y material cerámico ESD, que incorpora un canal hueco. Nos especializamos en una técnica que crea un canal de aire al vacío dentro de una sola pieza de material sin utilizar adhesivos.
No existe riesgo de contaminación, desgasificación ni partículas. El efector final/brazo manipulador de vacío de ST.CERA, con su tecnología de recubrimiento especial, cuenta con aislamiento eléctrico. También podemos suministrar material cerámico ESD con aislamiento eléctrico sin recubrimiento.
Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃. -
Componentes de equipos semiconductores con efector final de cerámica de alúmina
Evitar la formación de partículas que puedan generarse en los bordes biselados o angulados y en la superficie posterior durante el transporte de las obleas o al entrar en contacto con el efector final o el brazo manipulador.
Para las guías, se adoptó un material blando que no daña la oblea.
Es posible reducir el grosor del material gracias a la tecnología de canales de vacío integrada de ST.CERA, que no utiliza adhesivos.
Es posible realizar orificios de montaje y modificar la longitud y el ancho de la base donde se monta el efector final/brazo de manipulación en el robot.
Los sensores de montaje, los tornillos y los soportes están disponibles como opción.
Diseñado para ser utilizado en atmósfera.
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Mecanizado CNC personalizado del efector final de cerámica St.Cera
ST.CERA ofrece un brazo robótico/efector final de cerámica al vacío con un canal hueco integrado. Nos especializamos en una técnica que crea un canal de aire al vacío dentro de una sola pieza de material sin utilizar adhesivos.
No existe riesgo de contaminación, desgasificación ni partículas. El efector final/brazo manipulador de vacío de ST.CERA, con canal integrado, es duradero y puede utilizarse a altas temperaturas. Además, podemos reducir nuestros costos de fabricación eliminando el ensamblaje innecesario.
Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃.
