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Brazo de carga de cerámica de alúmina al 99,5% personalizado de ST.CERA

Brazo de carga de cerámica de alúmina al 99,5% personalizado de ST.CERA

Breve descripción:

El efector final cerámico/brazo de manipulación se instala en el robot de manipulación de obleas o "efectores finales" y se utiliza para transportar obleas de silicio dentro o fuera de casetes o cámaras de procesamiento.
Las ventajas de utilizar cerámica son la reducción de la deflexión gracias a su alta resistencia a la flexión, la resistencia a altas temperaturas y la eliminación de la contaminación y las partículas metálicas.


Detalles del producto

Etiquetas de producto

Detalles del producto

Gracias a sus características de resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y aislamiento, la cerámica puede funcionar durante mucho tiempo en muchos tipos de equipos de producción de semiconductores en condiciones de alta temperatura, vacío o gases corrosivos.

Fabricado con polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, el efector final cerámico puede alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, un acabado superficial Ra 0,1 y una resistencia a la temperatura de 1600 ℃.

El efector final cerámico con cavidad puede funcionar a una alta temperatura de 800 ℃ gracias a una tecnología de unión cerámica única.

Aquí se muestran las características de la cerámica de alúmina con diferente pureza.

parámetros del producto

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ST.CERA CO., LTD.

Hoja de datos del material

Propiedades Unidad Alúmina (Al2O3)
99% Al2O3 99,5% Al2O3 99,8% Al2O3 99,9% Al2O3
Color Blanco Marfil Marfil Marfil
Densidad g/cm3 3.88 3.90 3,93 3,95
Absorción de agua % 0 0 0 0
Tamaño del grano μm 2~5 2~5 2~5 2~4
Resistencia a la flexión MPa 350 360 361 350
Tenacidad a la fractura MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Dureza Vickers GPa 14 15.5 16 16
Módulo de elasticidad de Young GPa 370 370 380 390
Conductividad térmica W/m·k 28 32 32 34
Coeficiente de expansión térmica 10⁻⁶/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Constante dieléctrica 9.5 9.6 9.6 9.9
Ángulo de pérdida dieléctrica 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Fuerza dieléctrica V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Resistencia específica Ω ·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

proceso de producción

Granulación por pulverización → polvo cerámico → conformado → sinterización en bruto → rectificado basto → mecanizado CNC → rectificado fino → inspección dimensional → limpieza y embalaje

Detalles esenciales

Lugar de origen: Hunan, China
Material: Cerámica de alúmina
Código HS: 85471000
Capacidad de suministro: 100 unidades al mes
Plazo de entrega: 3-4 semanas
Embalaje: Caja de cartón corrugado, espuma, cartón
Otros: Servicio de personalización disponible


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