Efector final de cerámica de alúmina de alta pureza para robots de manipulación de obleas.
El efector final de cerámica de alúmina de St.Cera se mecaniza con precisión a partir de Al₂O₃ de alta pureza (99,8 %) utilizando equipos avanzados de rectificado CNC de 5 ejes. Nuestras capacidades de fabricación incluyen rectificadoras de precisión y centros de mecanizado CNC, lo que permite geometrías complejas con alta precisión. El efector final presenta un perfil delgado (tan delgado como 1,5 mm) con un borde delantero cónico para una inserción suave de la oblea. El material proporciona alta rigidez (módulo de Young de 380 GPa), excelente resistencia al desgaste y estabilidad térmica de hasta 800 °C. Cada unidad se rectifica con precisión para lograr una planitud de 0,003 mm, un paralelismo de 0,002 mm y un acabado superficial de Ra0,1, lo que garantiza un contacto consistente con la oblea y un funcionamiento sin partículas en entornos FAB de semiconductores. Disponible en longitudes de 150 mm a 450 mm, con geometrías de punta personalizadas (agarre de borde, Bernoulli, plano) y bridas de montaje para adaptarse a robots OEM. Las opciones de acabado superficial incluyen pulido, lapeado o recubrimiento disipador ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
Especificaciones (basadas en 99,8% Al₂O₃y capacidades de fabricación de St.Cera):
| Propiedad | Valor |
| Material | Alúmina al 99,8% (Marfil) |
| Densidad | 3,93 g/cm³ |
| Resistencia a la flexión | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Módulo de Young | 380 GPa |
| Llanura | 0,003 mm |
| Paralelismo | 0,002 mm |
| Acabado superficial | Ra0.1 (pulido/lapeado) |
| Temperatura máxima de funcionamiento | 800°C |
| Rango de longitud | 150–450 mm |
Aplicaciones:
- Transferencia de obleas en robots de vacío y atmosféricos
- · Efectores finales de automatización FAB para obleas de 200 mm/300 mm
- • Manipulación de obleas delgadas (con opción ESD)
Capacidades de fabricación:
Nuestras rectificadoras de precisión y centros de mecanizado CNC permiten la producción de componentes cerámicos complejos con:
- · Longitud máxima de mecanizado: 1500 mm
- · Diámetro exterior máximo: 600 mm
- · Diámetro interior mínimo: 0,2 mm
- · Espesor máximo: 100 mm
Control de calidad:
Rectitud 0,005 mm, perpendicularidad 0,005 mm, redondez 0,002 mm, paralelismo 0,002 mm, concentricidad 0,01 mm verificadas mediante CMM. Cada unidad se limpia por ultrasonidos y se empaqueta en una sala limpia de clase 100.
