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Brazo robótico de cerámica de alúmina de alta pureza para la manipulación de obleas.
El brazo robótico de cerámica de alúmina de St.Cera está diseñado con precisión a partir de Al₂O₃ (alúmina) de alta pureza (99,8 %). Combina una excepcional resistencia a la flexión (361 MPa), una alta dureza (16 GPa) y una baja densidad (3,93 g/cm³), lo que da como resultado un brazo ligero pero rígido para la transferencia de obleas de semiconductores. El coeficiente de expansión térmica del material (7,2 × 10⁻⁶/°C) es muy similar al del silicio, lo que minimiza la diferencia de temperatura durante el procesamiento.
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Efector final cerámico Bernoulli: manipulación sin contacto de obleas delgadas y frágiles.
El efector final cerámico Bernoulli de St.Cera utiliza sustentación aerodinámica para manipular obleas sin contacto físico. Fabricado con alúmina (Al₂O₃) o carburo de silicio (SiC) de alta pureza (99,8 %), incorpora boquillas mecanizadas con precisión que expulsan gas a presión para crear una fina película de aire entre el efector final y la oblea. Este principio sin contacto elimina la contaminación de la parte posterior, el astillamiento de los bordes y los daños en la superficie, lo que lo hace ideal para obleas delgadas (≤100 μm), frágiles o deformadas. El sustrato cerámico ofrece una alta resistencia a la flexión (361 MPa para Al₂O₃; hasta 550–600 MPa para SiC), baja masa y excelente estabilidad dimensional, lo que garantiza un posicionamiento repetible en robots de transferencia de obleas de alta velocidad.
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Efector final de cerámica con revestimiento de teflón: superficie antiadherente para la manipulación delicada de obleas.
El efector final cerámico recubierto de teflón (PTFE) de St.Cera combina un sustrato de alúmina de alta resistencia con un recubrimiento de PTFE uniforme y de baja fricción (espesor de 15 a 30 μm). Este recubrimiento ofrece un coeficiente de fricción extremadamente bajo (≤0,1), una excelente resistencia química y propiedades antiadherentes, evitando la adhesión de la oblea y eliminando la contaminación de la parte posterior. El sustrato cerámico subyacente (99,8 % Al₂O₃) ofrece una alta resistencia a la flexión (361–1000 MPa), resistencia al desgaste y estabilidad térmica hasta 260 °C (límite del recubrimiento). Este efector final es ideal para manipular obleas delicadas, delgadas o pegajosas (por ejemplo, después del recubrimiento con fotorresina o de procesos químicos).
