Brazo robótico de cerámica de alúmina de alta pureza para la manipulación de obleas.

El brazo robótico de cerámica de alúmina de St.Cera está diseñado con precisión a partir de Al₂O₃ (alúmina) de alta pureza (99,8 %). Combina una excepcional resistencia a la flexión (361 MPa), una alta dureza (16 GPa) y una baja densidad (3,93 g/cm³), lo que da como resultado un brazo ligero pero rígido para la transferencia de obleas de semiconductores. El coeficiente de expansión térmica del material (7,2 × 10⁻⁶/°C) es muy similar al del silicio, lo que minimiza la diferencia de temperatura durante el procesamiento.

Presupuesto (basado en 99,8% de Al₂O₃):

Aplicaciones:

- Robots de transferencia de obleas al vacío (200 mm/300 mm)

- Sistemas de manejo atmosférico

- Brazos efectores finales para la automatización de FAB

Proceso de fabricación:

Prensado isostático → mecanizado en verde → sinterización a 1600 °C → rectificado de precisión CNC → limpieza ultrasónica → embalaje en sala limpia Clase 100. Cada brazo se inspecciona al 100 % mediante CMM para comprobar su planitud (±0,01 mm) y rugosidad superficial (Ra ≤0,4 μm).

Control de calidad:

St.Cera cuenta con la certificación ISO 9001:2015. Realizamos pruebas de penetración de tintes para detectar microfisuras, ensayos de flexión en tres puntos para determinar la resistencia a la flexión y pruebas de rigidez dieléctrica según la norma ASTM D149.

Ventajas sobre los brazos metálicos:

- Un 50% más ligero que el acero inoxidable.

- Sin corrosión galvánica

- Menor generación de partículas (≤0,05 partículas/cm²)

- Recubrimiento antiestático disponible (10⁶–10⁹ Ω/sq)

Personalización:

Longitudes de 150 mm a 450 mm, formas de punta (agarre de borde, Bernoulli, vacío) y patrones de brida de montaje según planos del fabricante. Prototipos en 2 semanas.

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