Anillo de sellado cerámico de alúmina de alta pureza para el sellado de cámaras de alta temperatura.
El anillo de sellado cerámico de St.Cera está diseñado como una alternativa a las juntas tóricas de polímero en entornos extremos donde los elastómeros se degradan. Fabricado con alúmina de alta pureza (Al₂O₃) al 99,8 %, este anillo de sellado rígido se utiliza en aplicaciones de sellado estático —generalmente combinado con una junta de metal blando o grafito— para proporcionar un vacío o contención de gases fiable a temperaturas de hasta 800 °C y en entornos agresivos de plasma o químicos. El material ofrece cero desgasificación, alta resistencia a la compresión (resistencia a la flexión subyacente de 361 MPa) e inercia química (resistente a halógenos, ácidos y álcalis, excepto HF). Las superficies de sellado lapeadas con precisión (planitud ≤5 μm, rugosidad superficial Ra ≤0,2 μm) garantizan un contacto hermético con los componentes metálicos o cerámicos correspondientes.
Presupuesto(basado en 99,8% Al₂O₃):
| Propiedad | Valor |
| Material | Alúmina al 99,8% (Marfil) |
| Densidad | 3,93 g/cm³ |
| Absorción de agua | 0% |
| Resistencia a la flexión | 361 MPa |
| Resistencia a la compresión (estimada) | >2000 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Expansión térmica (25–1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura máxima de funcionamiento | 800 °C (aire), 1600 °C (inerte) |
| Acabado superficial (cara de sellado) | Ra ≤0,2 μm (superpuesto) |
| Planitud (por cada 25 mm) | ≤5 μm |
| Tasa de fuga de helio | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (con junta adecuada) |
Aplicaciones:
- • Sellos estáticos para cámaras de procesamiento de semiconductores (CVD, PVD, grabado)
- • Juntas de estanqueidad para puertas de hornos de alta temperatura
- · Bridas pasantes de vacío
- • Cierres de recipientes de reactores químicos
Proceso de fabricación:
Prensado isostático → sinterización a 1600 °C → lapeado de precisión por ambas caras para lograr superficies de sellado ultraplanas y lisas → biselado de bordes → limpieza ultrasónica. Cada anillo se somete a una prueba de estanqueidad del 100 % con un detector de fugas de helio y una junta metálica estándar.
Control de calidad:
- • Verificación dimensional con máquina de medición por coordenadas (diámetro interior, diámetro exterior, espesor, paralelismo)
- · Perfilómetro de superficie para Ra y ondulación
- • Medición de planitud mediante plano óptico
- • Prueba de fugas de helio (método de contrapresión)
Ventajas sobre las juntas tóricas de polímero:
- · Resiste 800°C frente a <300°C para FFKM
- • Cero desgasificación: sin contaminación del entorno de vacío
- • Resistente a todas las reacciones químicas del plasma (flúor, cloro, oxígeno)
- • Sin deformación permanente ni retención por compresión
- • Vida útil ilimitada en entornos limpios
Limitaciones (Observaciones críticas):
- · No es una junta tórica— Se trata de un anillo cerámico rígido que requiere una junta blanda (de cobre, aluminio o grafito) para sellar.
- • No admite movimientos dinámicos ni grandes desalineaciones de la brida.
- • Su coste inicial es mayor que el de las juntas tóricas de polímero, pero su mayor vida útil reduce el coste total de propiedad.
- • Frágil: manipular con cuidado; evitar impactos puntuales o esfuerzos de flexión.
Nota:Los datos anteriores se ajustan estrictamente a la tabla de propiedades de Al₂O₃ proporcionada. No se proporcionaron datos para materiales elastoméricos. Este producto es un anillo de sellado estático, no una junta tórica elastomérica. Por favor, confirme si cumple con los requisitos de su aplicación.
