Anillo aislante de alúmina PVD para sistemas de deposición física de vapor.
El anillo de aislamiento PVD de St.Cera está fabricado con alúmina (Al₂O₃) de alta pureza (99,8 %) para su uso en sistemas de deposición física de vapor (PVD). El anillo proporciona aislamiento eléctrico entre los componentes de la cámara, evitando la formación de arcos eléctricos y garantizando un funcionamiento estable del plasma. Sus propiedades clave incluyen una alta rigidez dieléctrica (15 × 10⁶ V/m), una resistividad >10¹⁴ Ω·mm²/m y una estabilidad térmica de hasta 1600 °C. Gracias a nuestras capacidades de mecanizado de precisión, podemos obtener diámetros exteriores de hasta 600 mm, diámetros interiores de hasta 0,2 mm, una planitud de 0,003 mm y un acabado superficial Ra0,1. La ausencia de porosidad y la inercia química del anillo garantizan una fiabilidad a largo plazo en entornos de pulverización catódica agresivos.
Especificaciones (basadas en 99,8% Al₂O₃y capacidades de fabricación de St.Cera):
| Propiedad | Valor |
| Material | Alúmina al 99,8% (Marfil) |
| Densidad | 3,93 g/cm³ |
| Resistencia a la flexión | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Fuerza dieléctrica | 15×10⁶ V/m |
| Resistencia específica | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Diámetro exterior máximo | 600 mm |
| Diámetro interior mínimo | 0,2 mm |
| Espesor máximo | 100 mm |
| Llanura | 0,003 mm |
| Paralelismo | 0,002 mm |
| Acabado superficial | Ra0.1 |
| Temperatura máxima de funcionamiento | 1600°C |
Aplicaciones:
- • Aislantes de placa de soporte objetivo en sistemas PVD
- Aisladores pasamuros de cámara
- • Aislantes de anillo de protección en sistemas de pulverización catódica
- • Aislamiento de alto voltaje en cámaras de plasma
Precisión en la fabricación:
Concentricidad: 0,01 mm, redondez: 0,002 mm, rectitud: 0,005 mm, perpendicularidad: 0,005 mm, verificado mediante CMM.
AVentajas sobre los aislantes de polímero:
- • Resiste 1600 °C frente al límite de <300 °C del polímero.
- • Sin desgasificación: mantiene la integridad del vacío.
- • Resiste la erosión por plasma y el ataque químico.
Personalización:
Disponemos de secciones transversales personalizadas, elementos de montaje, perfiles escalonados y múltiples diseños de anillos concéntricos.
