Efector final de cerámica de alúmina con canales de vacío integrados
El efector final de vacío de alúmina de St.Cera integra canales de vacío y orificios de succión mecanizados con precisión directamente en el cuerpo de alúmina de alta pureza (99,8 %). Este diseño elimina las almohadillas de vacío externas, lo que permite la recogida directa de la oblea con una fuerza de sujeción uniforme. La alta resistencia a la flexión (361 MPa) y la dureza (16 GPa) del material garantizan una estabilidad dimensional a largo plazo bajo ciclos de vacío repetidos. La planitud en toda el área de la almohadilla se mantiene dentro de 10 μm, lo que evita la tensión y la rotura de la oblea. Los puertos de vacío están ubicados en la brida de montaje trasera para una fácil integración con brazos robóticos OEM.
Presupuesto(basado en 99,8% Al₂O₃):
| Propiedad | Valor |
| Material | Alúmina al 99,8% (Marfil) |
| Densidad | 3,93 g/cm³ |
| Resistencia a la flexión | 361 MPa |
| Dureza Vickers | 16 GPa |
| Módulo de Young | 380 GPa |
| Expansión térmica | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Planitud de la almohadilla | ≤10 μm |
| Ancho del canal de vacío | 0,5–2,0 mm |
| Temperatura máxima de funcionamiento | 800°C |
Aplicaciones:
● Recogida por vacío de obleas delgadas o deformadas
● Manipulación directa de obleas sin sujeción de bordes
● Transferencia de células solares y sustratos LED
Fabricación:
Bloque de alúmina sinterizada → Perforación CNC de 5 ejes para la creación de canales y orificios de vacío → Pulido de superficie → Limpieza ultrasónica → Prueba de fugas de helio. Cada efector se somete a una prueba de flujo del 100 % para garantizar la uniformidad del vacío.
Ventajas:
● Sin almohadillas de vacío externas (reduce las fuentes de partículas)
● La presión de sujeción uniforme evita las marcas en la oblea.
● Químicamente inerte y compatible con salas blancas
