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Brazo de carga de cerámica de alúmina al 99,5% personalizado ST.CERA

Brazo de carga de cerámica de alúmina al 99,5% personalizado ST.CERA

Breve descripción:

El brazo de manipulación/efector final de cerámica se instala en un robot de manipulación de obleas o "efectores finales" y se utiliza para transportar obleas de silicio dentro o fuera de casetes o cámaras de proceso.
Los beneficios del uso de cerámica son la reducción de la deflexión debido a la alta resistencia a la flexión, la resistencia a altas temperaturas y la eliminación de contaminación y partículas metálicas.


Detalle del producto

Etiquetas de productos

Detalles de producto

Con características de resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión, resistencia a la abrasión y aislamiento, la cerámica puede funcionar en muchos tipos de equipos de producción de semiconductores en condiciones de alta temperatura, vacío o gas corrosivo durante mucho tiempo.

Hecho de polvo de alúmina de alta pureza, procesado mediante prensado isostático en frío, sinterización a alta temperatura y acabado de precisión, el efector final cerámico podría alcanzar una tolerancia dimensional de ±0,001 mm, acabado superficial Ra 0,1 y resistencia a temperaturas de 1600 ℃.

El efector final cerámico con cavidad puede funcionar a una temperatura alta de 800 ℃ gracias a su exclusiva tecnología de unión cerámica.

Estas son las características de la cerámica de alúmina con diferente pureza.

parametros del producto

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ST.CERA CO., LTD.

Hoja de datos del material

Propiedades Unidad Alúmina (Al2O3)
99% Al2O3 99,5% Al2O3 99,8% Al2O3 99,9% Al2O3
Color Blanco Marfil Marfil Marfil
Densidad g/cm3 3,88 3.90 3.93 3.95
Absorción de agua % 0 0 0 0
Tamaño de grano µm 2~5 2~5 2~5 2~4
Fuerza flexible MPa 350 360 361 350
Tenacidad a la fractura MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Dureza Vickers GPa 14 15.5 16 16
Módulo elástico de Young GPa 370 370 380 390
Conductividad térmica W/m·k 28 32 32 34
Coeficiente de expansión térmica 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Constante dieléctrica 9.5 9.6 9.6 9.9
Ángulo de pérdida dieléctrica 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001
Resistencia dieléctrica V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Resistencia específica Ω·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Proceso de producción

Granulación por pulverización → polvo cerámico → Conformación → Sinterización en blanco → Rectificado en bruto → Mecanizado CNC → Rectificado fino → Inspección de dimensiones → Embalaje de limpieza

Detalles esenciales

Lugar de origen: Hunan, China
Material: Cerámica de alúmina
Código SA: 85471000
Capacidad de suministro: 100 unidades por mes
Plazo de ejecución: 3-4 semanas
Paquete: Caja corrugada, espuma, cartón
Otros: Servicio de personalización disponible


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