Combinado con las amplias ventajas de rendimiento de los materiales de sustrato tradicionales de Al2O3 y BeO, la cerámica de nitruro de aluminio (AlN), que tiene una alta conductividad térmica (la conductividad térmica teórica del monocristal es de 275 W/m▪k, la conductividad térmica teórica del policristal es de 70~210W/m▪k). ), baja constante dieléctrica, coeficiente de expansión térmica combinado con silicio monocristalino y buenas propiedades de aislamiento eléctrico, es un material ideal para sustratos de circuitos y embalajes en la industria microelectrónica.También es un material importante para componentes cerámicos estructurales de alta temperatura debido a sus buenas propiedades mecánicas, propiedades térmicas y estabilidad química a altas temperaturas.
La densidad teórica del AlN es 3,26 g/cm3, la dureza MOHS es 7-8, la resistividad a temperatura ambiente es superior a 1016 Ωm y la expansividad térmica es 3,5×10-6/℃ (temperatura ambiente de 200 ℃).Las cerámicas de AlN puro son incoloras y transparentes, pero podrían tener varios colores como gris, blanco grisáceo o amarillo claro, debido a las impurezas.
Además de una alta conductividad térmica, las cerámicas AlN también tienen las siguientes ventajas:
1. Buen aislamiento eléctrico;
2. Coeficiente de expansión térmica similar al monocristal de silicio, superior a materiales como Al2O3 y BeO;
3. Alta resistencia mecánica y resistencia a la flexión similar a la de la cerámica Al2O3;
4. Constante dieléctrica moderada y pérdida dieléctrica;
5. En comparación con el BeO, la conductividad térmica de las cerámicas de AlN se ve menos afectada por la temperatura, especialmente por encima de 200 ℃;
6. Resistencia a altas temperaturas y resistencia a la corrosión;
7. No tóxico;
8. Aplicarse a la industria de semiconductores, la industria metalúrgica química y otros campos industriales.
Hora de publicación: 14-jul-2023